アルバック機工/ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ(3613593) DAP-6D [その他]

商品情報
 
説明【特徴】●ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。【仕様】●排気速度(L/min)50/60Hz:6/7●到達圧力(Pa):6.65×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):Rc1/8●電源(V):単相100●寸法(mm):93×163×100.6●騒音値(dB):-●電源:単相100V●質量(kg):1.9●サーマルプロテクタ付●低速低圧用●異電圧対応可(お問い合せください)【用途】●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。【注意】●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。
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